台阶仪

台阶仪

仪器型号:Dektak XT
50.00
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广东省半导体产业技术研究院
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仪器简介

详细信息

【仪器名称】:台阶仪(Profile-system)

【设备型号】:Dektak XT

【设备厂商】:美国Bruker

【仪器详情】

台阶仪是一种将曲率半径很小的探针和样品表面进行接触,移动探针,测量接触力量的变化,调整探针的高度,从而得到样品的表面形貌。通过该测试,可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据,从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。

美国Bruker公司的Dektak XT系列台阶仪具有创新性的设计,可以提供无与伦比的重现性,重现性低于5Å。通过整合行业领先产品,Dektak XT实现了最高性能,操作简易,从研发到质量控制都有更好的过程控制,能够在微电子,半导体,太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

【主要特点】:

● 台阶高度重复性5Å;

● Single-arch设计大大提高扫描稳定性;

● 新的硬件配置,降低了噪音对测量的干扰,数据采集能力提高了40%;

● 64-bit,Vision64操作流程简便易行,同步数据处理软件,数据分析速度提高十倍;

● 针尖自动校准系统。

 

【技术参数】:

● 扫描长度: 50µm-55mm

● 垂直测量范围: 1mm

● 台阶高度重现性5Å, 1σ 在1µm台阶上

● 垂直分辨率:最大1Å(6.5µm范围)

● 探针压力:1-15mg 最小可达0.03mg

● 探针曲率半径:0.2 um ,2um

● 超细探针:50nm

● 样品台尺寸:4英寸,6英寸,8英寸

● 可通过软件设置进行连续的多次扫描分析,最大次数大于10次

● 单次扫描最大采样点数不小于100,000

● 具备薄膜应力测量功能

● 可进行多点测量比较,提供多个数据的平均和标准偏差

● 载物台可水平移动,在x方向和y方向的行程不小于50mm×20mm

● 光学系统:放大倍率不小于100倍,可通过摄像头观察到探针与样品表面

● 软件系统:提供专用的台阶测试软件、分析软件(包括应力分析)并终身免费升级,分析软件可免费安装在其他电脑上进行数据分析

【应用领域】:

设备广泛应用于:触摸屏、半导体、太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学、高校、研究所、微电子、金属等行业实现纳米级表面形貌测量

● 台阶轮廓扫描

● 表面粗糙度扫描

● 样品翘曲度测量


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