低温PL系统

低温PL系统

仪器型号:iHR550
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广东省半导体产业技术研究院
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仪器简介

详细信息

【仪器名称】:变温PL系统

【设备型号】:iHR550

【设备厂商】:法国HORIBA Jobin Yvon

【仪器详情】

光致发光(photoluminescence, PL)荧光测量是指用短波激光器等光源激发材料,使其产生荧光,并对荧光光谱进行测量。荧光能量通常仅为激发光能量的3%,波长长于激发光,且是散射光,因此需要高分辨率的光谱仪、高灵敏度探测器以及优化的光路设计。

本实验室变温PL系统由光源系统、样品台控制系统、数据采集及处理系统等部件组成,可应用于材料学、生物学、医学、能源、环境等诸多领域,通过PL荧光测量,可对材料光学特性以及相关的结构特性进行深入分析。

【主要特点】:

● 多激发光源,可变激发功率(325、266nm激光器)

● 液氦循环制冷,精确控温(5~300K)

● 样品台XYZ三维精确移动(精度10μm)

● 光谱测量范围宽,可覆盖深紫外-红外波段(200-900nm)

● 高信号探测灵敏度及信噪比,分辨率优于0.025nm

● 可扩展进行变温EL谱、变温IV曲线等测量

 

 

【技术参数】:

1.光源系统:

● 深紫外测试光路:266激光器,100mW连续可调

● Kimmon/325nm He-Cd激光器,30mW,稳定性<1.0%,噪声<0.5%

● 配备滤光片双塔轮,每个塔轮安装5个滤光片,两两组合从而可实现325激光器的激发功率从0.15mW-30mW改变

● 汞灯校准光源

2.样品台及控制系统:

● 适合碎片以及2、4、6英寸外延片

● 带光学窗口的Janis低温制冷系统(5K-300K),降温速度2h以内到5K,可使用10针电学真空接头及三个备用电学引入端口,用于变温电学测试

● Cryocon 22C型多功能双输入通道控温仪,温度控制精度和稳定性高

● 10μm精度的电动XYZ调节台组。

3.数据采集及处理系统

● Horiba iHR系列光谱仪具有独特的光学设计、优异的成像性能、无二次衍射光、灵活配置、精密的机械制造等特点,焦长550mm,电动狭缝宽度0-2mm可调,杂散光抑制比优于104

● 光谱分辨率:PMT分辨率优于0.025nm,CCD分辨率优于0.1nm

● 光电倍增管探测器PMT探测波长200-860nm

● 高性能、低噪声液氮制冷背照射UV增强CCD探测器,探测波长400-900nm,1024×256像素16比特,制冷温度173K

4.其他

● 所有光学元器件均采用Thorlabs,精密度高,质量可靠

● 智能的测量分析软件Syner JY,操作简单、便于数据处理

【应用领域】:

设备广泛应用于材料学、化学、生物、医学、能源、环境等领域。

●半导体材料常规PL荧光测量

●半导体材料变温PL荧光测量

●半导体材料变功率PL荧光 测量

●薄膜变温EL谱、变温IV曲线等变温电学测试

●有机化合物荧光测量

●矿物、染料荧光测量
 


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