椭圆偏振光谱仪
仪器编号:bdt2015635
价格:   300.0
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广东省半导体产业技术研究院
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所在地区:广东省广州市天河区长兴路363号
信用分值:0
信用等级:一般管理单位
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仪器编号: bdt2015635
所属业务: 物理性能测试仪器
所属分类: 粒度/颗粒/粉末分析仪器
型号: UVISEL
所属机构: 广东省半导体产业技术研究院
所属管理单位: 广东省半导体产业技术研究院
所属仪器类型:
仪器设备来源: 购置
仪器设备类别: 专用
技术指标: ● 光谱范围210-880nm,有效覆盖深紫外-近红外光谱波段 ● 椭偏测量范围:Ψ=0-90°,Δ=0-360° ● 高灵敏度,UVISEL采用光弹调制器PEM作为核心元件,具有50kHz 的快速调制速度; ● 椭偏参数的准确性:95%以上的被测点满足Δ≤00±0.05, Ψ≤450±0.0750(直射测量,即测空气) ● 30次连续性测量膜厚重复性:优于0.003nm(25nm SiO2 On Si)或者优于0.02nm (80-100nm SiO2 On Si) ● 快速数据采集,保证信噪比的前提下,可以极快地采集数据,达到1ms/point; ● 光斑直径:50µm,100µm,1mm ● 可检测样品尺寸:碎片或2、4、6英寸薄膜

【仪器名称】:椭圆偏振光谱仪(Ellipsometer)

【设备型号】:UVISEL

【设备厂商】:法国HORIBA

【仪器详情】

通过测量偏振光在介质的表面反射时偏振状态的变化,可以获得介质材料的光学常数(折射率、消光系数、介电函数、透过率和反射率等)和结构(膜厚、表面粗糙度、禁带宽度、激子束缚能等)信息。Horiba的UVISEL光谱型相调制椭圆偏振仪是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏设备,它采用光弹调制器来实现偏振状态的调制而无机械运动,能够在全谱范围内准确测量椭偏角,从而可以对透明衬底、超薄薄膜和折射率接近的样品进行高精度和高灵敏度的特性分析。

【主要特点】

● 高精度,全范围无盲区(Ψ=0-90°, Δ=0-360°)

● 光谱范围大,有效覆盖深紫外-近红外光谱波段(210-880nm)

● 高速数据采集(1ms/point),重复性高

● 数据库模型丰富、快速拟合,可批量测量与分析

● 无损检测,无需样品制备

● 适用透明、半透明样品,可用于检测超薄薄膜(nm)

● 可用于动态研究和液体表面测量

 

【技术参数】

● 光谱范围210-880nm,有效覆盖深紫外-近红外光谱波段

● 椭偏测量范围:Ψ=0-90°,Δ=0-360°

● 高灵敏度,UVISEL采用光弹调制器PEM作为核心元件,具有50kHz 的快速调制速度;

● 椭偏参数的准确性:95%以上的被测点满足Δ≤00±0.05, Ψ≤450±0.0750(直射测量,即测空气)

● 30次连续性测量膜厚重复性:优于0.003nm(25nm SiO2 On Si)或者优于0.02nm (80-100nm SiO2 On Si)

● 快速数据采集,保证信噪比的前提下,可以极快地采集数据,达到1ms/point;

● 光斑直径:50µm,100µm,1mm

● 可检测样品尺寸:碎片或2、4、6英寸薄膜

【应用领域】

设备广泛应用于材料学、化学、生物、医学、能源、环境等领域。

●半导体材料常规PL荧光测量

●半导体材料变温PL荧光测量

●半导体材料变功率PL荧光 测量

●薄膜变温EL谱、变温IV曲线等变温电学测试

●有机化合物荧光测量

●矿物、染料荧光测量
 

价格说明:
服务项目可能因样品性质不同,而存在价格变动,具有不确定性,可能为非最终价格,具体可向管理单位咨询,沟通商议;最终以订单结算页价格为准。
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