1. 微波等离子体化学气相沉积系统(计算机程序全自动控制):
1.1 5kW(2.45GHz)低纹波微波源(3相400V± 10%),磁控管功率6kW;
1.2 微波手动调节器;
1.3 微波环形器, 等效载荷和微波波导装置;
1.4 微波发生器输出功率5 kW时,实时微波泄漏≤ 2 mW/cm2;
1.5 双层水冷不锈钢反应腔,反应腔工作压力范围:10-200 Torr;
1.6 反应腔具有三个ICF070观察口,两个ICF034测温窗口;
1.7 系统真空密封性 < 1.0 × 10-9 Torr/sec;
1.8 可垂直移动的水冷样品台;
1.9 样品台材质为金属钼,尺寸(直径):≥4英寸;
1.10 样品托为(直径)≥2英寸的钼盘;
1.11 可制备的样品尺寸(直径):≥2英寸;
应用范围:该设备专门用于金刚石单晶或多晶材料的生长,设备符合国家统一安全标准。