MPCVD

MPCVD

仪器型号:SDS6530
10000.00

委托实验

型号:SDS6530
北京大学东莞光电研究院
北京大学东莞光电研究院
所在地区:松山湖高新区沁园路17号
进入机构


详细信息

1. 微波等离子体化学气相沉积系统(计算机程序全自动控制):

1.1  5kW(2.45GHz)低纹波微波源(3相400V± 10%),磁控管功率6kW;

1.2  微波手动调节器;

1.3  微波环形器, 等效载荷和微波波导装置;

1.4  微波发生器输出功率5 kW时,实时微波泄漏≤ 2 mW/cm2;

1.5  双层水冷不锈钢反应腔,反应腔工作压力范围:10-200 Torr;

1.6  反应腔具有三个ICF070观察口,两个ICF034测温窗口;

1.7  系统真空密封性 < 1.0 × 10-9 Torr/sec;

1.8  可垂直移动的水冷样品台;

1.9  样品台材质为金属钼,尺寸(直径):≥4英寸;

1.10 样品托为(直径)≥2英寸的钼盘;

1.11 可制备的样品尺寸(直径):≥2英寸;

应用范围:该设备专门用于金刚石单晶或多晶材料的生长,设备符合国家统一安全标准。


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