原子力显微镜

原子力显微镜

200.00~450.00
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广东省半导体产业技术研究院
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所在地区:广东省广州市天河区长兴路363号
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信用等级:一般管理单位
进入机构


仪器型号

Dimension Edge

仪器类别

通用

技术指标

● 测量模式: 1.接触模式(Contact Mode)2.轻敲模式(Tapping Mode)3.相位成像模式(Phase imaging)4.抬起模式(Lift Mode)5.暗抬高模式(Dark Lift Mode) ● 测量模块: 1.表面形貌扫描2.静电力显微镜(EFM)3.导电原子力显微镜(CAFM)4.磁力显微镜(MFM)5.横向力/摩擦力显微镜(LFM)6.力曲线7.纳米压印8.图形化衬底(PSS) ● 扫描范围:100μm×100μm×10μm ● 噪声水平:不大于50pm(实现云母原子台阶测试要求) ● 样品尺寸:150mm×150mm×150mm (XYZ) ● 光学辅助观察系统:280~1285倍放大,180~1465μm视场范围,自动聚焦及缩放,1.5μm分辨率,计算机控制照明,彩色CCD摄像头 ● 防震台:SPM专用防震台,防震频率0.5Hz

详细信息

重点在于如何保护Stargate扫描器  
1.请轻拿轻放Stargate扫描器。安装探针时,要轻轻地将探针夹安装在扫描器底部,切勿过度用力。在扫描管底部施加过大的力会损坏扫描器。  
2.将 Stargate 扫描器安装于显微镜基座时,要紧握扫描器,沿着放置扫描器的导轨缓缓往下移动,直到扫描器落在导轨底部。滑动遇到阻碍时,左右轻晃扫描器,同时握紧,直到确认已经到达底部无法继续移动。  
3.每次更换探针或样品时,请将Stargate扫描器抬高到安全位置,切勿在XY方向移动样品台,以免撞到扫描器。  
4.请勿乱扔乱放扫描器,若长时间不用时,请将扫描器置于一个安全位置,例如随机提供的储藏箱。  
5.在XY闭环打开的情况下,若使用普通的轻敲/接触模式探针夹扫描图像,请到Calibrate > Scanner > X-Y菜单下打开OptoXY Closed Loop Calibration 窗口,确保X IGain 与Y IGain的数值为12,pgain/igain ratio为 0.05。在XY闭环打开的情况下,若使用液体池或者连接Application Module的探针夹扫描图像,请到Calibrate > Scanner > X-Y菜单下打开 OptoXY Closed Loop Calibration窗口,确保X IGain与 Y IGain 的数值为6,pgain/igain ratio为 0.05。过大的XY IGain有可能损坏闭环传感器。 
6.不要长时间使用最大的扫描范围去扫描图像。  
7.安装Application Module时,不要将固定螺丝拧得过紧,以免损伤扫描器。若发现固定螺丝下的垫圈发生变形,请及时更换。 
在每次测试过程完成后第一步需把探针抬到安全距离,以及在测试过程中需经常留意空压机压力表指示值,使其在要求范围内。

价格说明:
服务项目可能因样品性质不同,而存在价格变动,具有不确定性,可能为非最终价格,具体可向管理单位咨询,沟通商议;最终以订单结算页价格为准。
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